日立高新技術公司于2016年4月15日在全球發布了新型掃描電子顯微(wēi)鏡——FlexSEM 1000。該産品結構緊湊，占地(dì)(dì)面積小，但分辨率不(bù)輸大型電鏡，同時操作極其簡便，幾乎不(bù)用培訓就(jiù)可操作。緊湊型設計(jì)，分辨率為4 nm。

       掃描電子顯微(wēi)鏡可對材料的表面進行高倍率觀察及高精度元素分析，在納米技術、生(shēng)命科學、産品設計(jì)研發及失效分析等領域有著(zhe)廣泛的應用。 近年來，掃描電鏡觀察表面精細結構及元素分析的需求日趨增加，而越來越多的用戶希望能在生(shēng)産線、品保檢驗線和辦公區等有限的空間裡使用掃描電子顯微(wēi)鏡。因此，體(tǐ)積小、操作簡便、分辨率高的掃描電子顯微(wēi)鏡備受關注。FlexSEM 1000主機寬450mm、長(cháng)640mm，相(xiàng)比SU1510型号體(tǐ)積減小52%，重量減輕45%，功耗減小50%，且配備标準化(huà)(huà)的電源接口。主機與供電單元可分離(lí)，安裝非常靈活。

        FlexSEM 1000采用最新設計(jì)的電子光(guāng)學系統和高可靠性、高靈敏度的探測器，分辨率高達4nm。FlexSEM 1000有多種自(zì)動化(huà)(huà)功能，操作簡便，即便是初次操作者也(yě)能快(kuài)速拍出高質量圖像。另外，新開(kāi)發的導航功能「SEM MAP」可使用各種光(guāng)學圖片或電鏡照(zhào)片進行導航，一(yī)鍵就(jiù)快(kuài)速精準地(dì)(dì)切換至感興趣的高倍率視野。

緊湊型VP-SEM FlexSEM 1000

(主機與供電單元可分離(lí))

特點：

a. 通過高靈敏度二次電子探測器，背散射探測器，低(dī)真空探測器（UVD^*2），實現低(dī)加速電壓/低(dī)真空下(xià)高質量圖像觀察

b. 操作簡捷，即使新手也(yě)能拍出高質量的圖片

c. 新開(kāi)發的導航功能「SEM MAP」，便于快(kuài)速鎖定視野

d. 大窗(chuāng)口（30 mm²）SDD能譜系統，便于快(kuài)速分析元素成分^*2

*1  設置在桌面時，分離(lí)主機和電源箱

*2  選配